?CF3+R3SiH→CF3R3Si?CF?+R?SiH\right tarrow CF?R?SI?CF3?+R3?SiH→CF3?R3?SI 3CH2+R3SiH→3CHR3Si3CH?+R?SiH\right tarrow 3CHR?Si3CH2?+R3?SiH → 3CHR3?SI
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Silane, trifluoro(trifluoromethyl)-