모노모티늄산소 배합물의 합성은 다양한 방법으로 구현될 수 있다.보통 Cp2TiCl2(디사이클렌디엔기디염화티타늄)와 숙부틸수소과산화수소(TBHP)의 반응과 같은 산화제와 같은 이무티타늄 전구체를 포함한다.합성의 핵심 단계는 전구체에서 Ti-Cl 결합을 산화가하여 Ti=O키를 형성하는 것이다.
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bis(pentamethylcyclopentadienyl)phenyloxatitanacyclobutene