염화규소는 일반적으로 실란화 시약으로 사용된다.그것들은 알콜과 반응하여 실리콘 에테르를 생성한다.TMSCl은 그런 시약이지만, 숙부틸디메틸실란(TBDMS-Cl)과 트리메틸실리콘트리플루오로메틸술폰산염(TMSOTf)과 같은 다른 시약도 있다.
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5'-O-tert-butyldimethylsilyl-3'-O-(4,4'-dimethoxytriphenylmethyl)thymidine