불소 함유 중합체
흔히 완전불화중합체로 알려진 테플론 기반의 불소중합체는 높은 내화학성과 낮은 표면에너지로 유명하다.이를 통해 반도체 가공에 사용되는 부식제 및 현상제와 같이 재료가 다양한 물질을 밀어내야 하는 응용에 적용할 수 있게 된다.
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불소 함유 중합체의 학술 논문
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Dissolution behavior of tetrafluoroethylene-based fluoropolymers for 157-nm resist materials
화학 물질
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3-(BICYCLO[2.2.1]HEPT-5-EN-2-YL)-1,1,1-TRIFLUORO-2-(TRIFLUOROMETHYL)PROPAN-2-OL
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