O-실리콘 기화란 유기 분자에 산소 함유 관능단에 실리콘 베이스를 도입하는 것을 말한다(대개 트리메틸실리콘기, TMS).그 성명은 Nafion SAC-13이 효과적으로 이 반응을 촉매했으며 우수한 효율과 선택성을 가지고 있음을 보여준다.
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Trimethyl-((S)-1-methyl-prop-2-ynyloxy)-silane