용해 동작
내식제 재료의 용해 거동을 이해하는 것은 리소그래피에서 필수적이다.페놀 기반 항식제와 같은 정조색 항식제의 경우 노출 영역이 현상제 용액에서 더 쉽게 용해될 때 용해가 발생합니다.사불화 비닐의 불소 함유 고분자를 기반으로 한 157 nm 항식제 재료의 경우, 용해 거동이 157 nm의 노출에 민감하도록 조정되었습니다.노출 후, 이러한 재료는 현상제 용액에 어느 정도 용해되도록 수정되었습니다.
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용해 동작의 학술 논문
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Dissolution behavior of tetrafluoroethylene-based fluoropolymers for 157-nm resist materials
화학 물질
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3-(BICYCLO[2.2.1]HEPT-5-EN-2-YL)-1,1,1-TRIFLUORO-2-(TRIFLUOROMETHYL)PROPAN-2-OL
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