개발자 솔루션
현상제 용액의 선택 또한 용해 행동을 결정하는 열쇠이다.원하는 패턴을 구현하기 위해 현상제를 선택하는 방식은 내식제의 노출 영역과 상호작용합니다.현상제는 항식제의 노출 또는 미노출 영역을 선택적으로 제거하도록 설계될 수 있습니다.
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개발자 솔루션의 학술 논문
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Dissolution behavior of tetrafluoroethylene-based fluoropolymers for 157-nm resist materials
화학 물질
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3-(BICYCLO[2.2.1]HEPT-5-EN-2-YL)-1,1,1-TRIFLUORO-2-(TRIFLUOROMETHYL)PROPAN-2-OL
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