트리에틸포스핀(6,6,7,7,8,8,8-헵타플루오로-2,2-디메틸-3,5-옥탄디오네이트)은(I)

기본 정보

• 표준명: 트리에틸포스핀(6,6,7,7,8,8,8-헵타플루오로-2,2-디메틸-3,5-옥탄디오네이트)은(I)
• CAS 레지스트리 번호: 165461-74-5
• 분자식: C10H10AgF7O2.C6H15P
• 분자 무게: 521.201
• Mol 파일: 165461-74-5.mol

동의어: Triethylphosphine(6,6,7,7,8,8,8-heptafluoro-2,2-diMethyl-3,5-octanedionate)silver(I),Min.98%;TRIETHYLPHOSPHINE(6,6,7,7,8,8,8-HEPTAFLUORO-2,2-DIMETHYL-3,5-OCTANEDIONATE)SILVER(I);Triethylphosphine(6,6,7,7,8,8,8-heptafluoro-2,2-dimethyl-3,5-octanedionate)
은(I), 최소 98%

관련 CAS 번호: 146377-20-0 128962-66-3 159815-76-6 1374652-58-0 145802-97-7 1381986-21-5 1016847-66-7 10396-05-1 1119445-29-2 114717-07-6

표준명의 화학적 성질

물리적 데이터:

안전정보:

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• 안전 선언문:

사용:

• 소개 및 적용: 트리에틸포스핀은 화학 기상 증착(CVD) 과정에서 은막의 전구로 사용됩니다. 이 화합물은 플라스마 활성화 수소와 함께 사용되어 120-150°C의 성장 온도에서 은 얇은膜의 원자층 증착에 유용한 시작 재료가 됩니다. 따라서, 트리에틸포스핀은 은 薄膜을 제조하는 데 사용되는 중요한 전구재로서, 다양한 분야에서 응용될 수 있습니다.