삼 불화 질소

기본 정보

• 표준명: 삼 불화 질소
• CAS 레지스트리 번호: 7783-54-2
• 분자식: F3N
• 분자 무게: 71.0019
• HS 코드: 28129011
• Mol 파일: 7783-54-2.mol

동의어: N, N, N- 트리 플루오로 아민; NF3; 불화 질소 (NF3); 불화 질소 (nf3); 퍼플 루오로 암모니아; Stickstoff (III)-불소; Stickstofftrifluorid; Trifluoroamine

관련 CAS 번호: 70000-22-5 70000-39-4 70001-26-2 70001-45-5 70001-47-7 700-02-7 7000-29-5 7000-30-8 70003-50-8 7000-48-8

표준명의 화학적 성질

물리적 데이터:

안전정보:

• 픽토그램: O
• 위험 코드: O
• 진술: 8-20
• 안전 선언문: 17-23-38

사용:

• 소개 및 적용: 불화 질소(NF3)는 전자 산업에서 세척제 및 공정실 청소제로 사용되는 가스로, 반도체, 얇은막 태양 전지 및 평면 디스플레이 제조업자들이 공정실을 청소하는 데 사용합니다. NF3는 녹색 가스 배출을 줄이는 데 도움이 되며, 다른 세척제에 비해 더 쉽고 안전하게 취급할 수 있습니다. 또한, 에너지 공급원으로 사용되며, 고에너지 화학 라저에서 플루오린 공급원으로 사용되는데, 이는 대기 상태에서의 취급이 상대적으로 쉬우며, 녹색 가스 배출을 줄일 수 있다는 점에서 플루오린보다 우위를 가지고 있습니다. 그러나, 1960년대 초에 로켓 공학에서 산소화제로 사용되었으나 상업화되지는 않았습니다. NF3는 냄새가 없는 색less 가스이며, 숨을 쉬면 매우 독성이 있습니다. NF3는 낮은 온도에서는 활발하지 않지만, 온도가 높아짐에 따라 플루오린과 유사한 활발한 성질을 나타냅니다. 특히 융합 반응에서 발생하는 플루오린 ради칼의 상대적으로 오랜 수명으로 인해 NF3는 효율적인 세척제가 됩니다. NF3는 482°F(250°C) 이하에서는 산소와 유사한 반응성을 가지며, 대부분의 건축 자재와 안정하며, 구리, 알루미늄, 구리, 강철 및 스테인리스 스틸과 호환됩니다. 그러나 온도와 압력이 증가함에 따라 NF3의 반응성이 증가하고, 니켈과 몬엘이 구축 자재로 선호됩니다.