테트라키스(에틸메틸아미노)티타늄

기본 정보

• 표준명: 테트라키스(에틸메틸아미노)티타늄
• CAS 레지스트리 번호: 308103-54-0
• 분자식: C12H32N4Ti
• 분자 무게: 280.28
• Mol 파일: 308103-54-0.mol

동의어: 티타늄 테트라키스(에틸메틸아미드), 99+%;테트라키스(에틸메틸라미도)티타늄M(IV) 전자 등급, >=99.99%;티타늄 테트라키스(에틸메틸아미드);테트라키스(에틸메틸라미노)티타늄;테트라키스(에틸메틸라미노)티타늄, 99.9; 키스(에틸메틸아미도) 티타늄(iv);테트라키스(에틸메틸아미노)티타늄(iv)

관련 CAS 번호: 30000-20-5 30000-36-3 30000-61-4 30001-07-1 30001-45-7 300-01-6 30003-49-7 3000-36-0 30003-72-6 30004-10-5

표준명의 화학적 성질

물리적 데이터:

안전정보:

• 픽토그램: F,C
• 위험 코드: F,C

사용:

• 소개 및 적용: 테트라키스(에틸메틸아미노)티타늄은 유기금속 화학 기상 증착(OMCVD) 과정에서 티타늄 아지트(TiN) 얇은막의 전구물질로 사용됩니다. 이 과정에서는 기체로 사용되는 이 화합물이 고온에서 분해되어 티타늄 아지트 얇은막을 형성합니다. 이 티타늄 아지트 얇은막은 반도체 제조, 광학 시스템, 도금 및 기타 산업에서 널리 사용됩니다.