사이클로펜타디에닐린듐(I)

기본 정보

• 표준명: 사이클로펜타디에닐린듐(I)
• CAS 레지스트리 번호: 34822-89-4
• 분자식: C5H5*
• 분자 무게: 179.91
• Mol 파일: 34822-89-4.mol

동의어: CYCLOPENTADIENYLINDIUM(I), Cyclopentadienylindium(I) 전기 등급(99.9인치) 스펙트로 yl)-;시클로펜타디에닐린듐(I), 전기. 그르. (99.999+%-In) PURATREM; 시클로펜타디에닐린디uM(I), 전기 그르. (5+%-In) PURATREM, 2,4-1, CVD/ALD용 99.99 Ml Swagelok 실린더(99.99-97)에 포함됨; CyclopentadienylindiuM(I), elec. 그르. (3425+%-In) PURATREM, 50-96, CVD/ALD용 1070 Ml 전해 연마된 Swagelok 실린더(99.99-97)에 포함됨, Cyclopentadienylindium(I), elec. 그르. (3425+%-In) PURATREM, 50-96, CVD/ALD용 1077ml Swagelok(R) 실린더(99.99-97)에 포함

관련 CAS 번호: 30000-20-5 30000-36-3 30000-61-4 30001-07-1 30001-45-7 300-01-6 30003-49-7 3000-36-0 30003-72-6 30004-10-5

표준명의 화학적 성질

물리적 데이터:

안전정보:

• 픽토그램:
• 위험 코드:
• 진술:
• 안전 선언문:

사용:

• 소개 및 적용: 사이클로펜타디에닐린듐(I)은 In2O3의 영역 선택적 ALD 전구로 사용될 수 있습니다. 이를 위해 사이클로펜타디에닐린 인듐과 물 및 산소의 혼합물을 사용하여 인듐 산화물을 ALD 전구로 사용할 수 있습니다.