(트리메틸)메틸시클로펜타디에닐백금(IV)

기본 정보

• 표준명: (트리메틸)메틸시클로펜타디에닐백금(IV)
• CAS 레지스트리 번호: 94442-22-5
• 분자식: C9H17Pt-
• 분자 무게: 319.306
• HS 코드: 28439000
• Mol 파일: 94442-22-5.mol

동의어: 메틸시클로펜타디에닐 트리메틸 백금; 증착 시스템에 사용하기 위해 포장된 트리메틸(메틸시클로펜타디에닐)백금(IV); (트리메틸)메틸시클로펜타디에닐백금(IV), 99%, 78-1350, CVD/ALD용 50ml Swagelok 실린더에 함유;(트리메틸)메틸시클로펜타디에닐플라티늄M( IV),98%;(TriMethyl)MethylcyclopentadienylplatinuM(IV), 99%, 78-1350, CVD/ALD용 50Ml Swagelok 실린더 고온 밸브(96-1071)에 함유됨;(TriMethyl)MethylcyclopentadienylplatinuM(IV), 99%, 78-1350, CVD/ALD용 50 Ml Swagelok 실린더(96-1070)에 포함됨;MeCpPtMe3;합성용 트리메틸(메틸사이클로펜타디에닐) 백금(IV)

관련 CAS 번호: 9000-01-5 90000-25-2 90000-28-5 90000-30-9 90000-31-0 90000-39-8 9000-04-8 90000-49-0 9000-05-9 90000-67-2

표준명의 화학적 성질

물리적 데이터:

안전정보:

• 픽토그램: Xi
• 위험 코드: Xi
• 진술: 36/37/38
• 안전 선언문: S24/25

사용:

• 소개 및 적용: (트리메틸)메틸시클로펜타디에닐백금(IV)은 CVD 및 ALD 애플리케이션에서 널리 사용되는 백금 복합물입니다. 이는 단순성(단지 C, H 및 Pt), 揮発성 및 중간 분해 온도 때문입니다. 이 물질은 전자 빔 유도 분사, 원자 튀김 등의 방법을 통해 극얇은 백금 금속층을 섞어 사용하며, 마이크로전자, 촉매, 광자 및 화학 센싱 분야에서 응용됩니다. (트리메틸)메틸시클로펜타디에닐백금(IV)은 백금의 유기금속 전이자 전구로 사용되며, 마이크로전자, 촉매, 광자 및 화학 센싱 과정에서 사용됩니다. 일반적으로 이 물질은 MeCpPtMe3로 알려져 있습니다.