디보란-D 6

기본 정보

• 표준명: 디보란-D 6
• CAS 레지스트리 번호: 20396-66-1
• 분자식: B2D6
• 분자 무게: 33.622
• Mol 파일: 20396-66-1.mol

동의어: DIBORANE-D 6; DIBORANE-D6 10 % IN DEUTERIUM ELECTRON &; DIBORANE-D6, 10 % IN HELIUM, ELECTRONIC G RADE; Diborane (6) -d6; Perdeuterodiborane; Deuterated Diborane

관련 CAS 번호: 24595-58-2 26909-45-5 27153-33-9 251107-37-6 26228-02-4 23933-83-7 287472-25-7 28173-47-9 20358-01-4 20712-08-7

표준명의 화학적 성질

물리적 데이터:

안전정보:

• 진술: 23/24/25-36/37/38-12
• 안전 선언문: S9-S16-S45-S36-S37-S39

사용:

• 소개 및 적용: 디보란-D6는 주로 첨가물로 사용되어 첨가물 층을 형성할 때 사용됩니다. 이는 에피택시얼 혹은 비결정 실리콘 얇은 필름의 증착에 사용됩니다. 디보란-D6의 고유한 특성은 장치의 성능과 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다.